우수 연구 인력으로 구성된 소재·부품·장비 기술자문단도 운영
  • ▲ DGIST 중앙기기센터 첨단 분석장비 모습(왼쪽부터 반도체소자 검사용 마이크로스코프, BIO-TEM, 광전자분광표면분석기, 전자빔리소그래피 시스템).ⓒDGIST
    ▲ DGIST 중앙기기센터 첨단 분석장비 모습(왼쪽부터 반도체소자 검사용 마이크로스코프, BIO-TEM, 광전자분광표면분석기, 전자빔리소그래피 시스템).ⓒDGIST

    앞으로 소재·부품·장비 관련 기술 개발이 필요한 중소기업들은 국내 최고 수준의 연구 장비를 갖춘 DGIST 중앙기기센터의 연구 개발 서비스를 활용할 수 있을 것으로 기대된다.
     
    17일 DGIST(총장 국양)에 따르면 일본수출규제에 따라 피해가 예상되는 기업들의 기술개발을 적극 지원하기 위해 DGIST 중앙기기센터를 확대 개방하여 독자적인 기술 개발을 지원할 예정이다.
     
    DGIST 중앙기기센터는 국내 중·소 기업체에서 개발된 소재가 대기업 검증을 통과하도록 공정 플랫폼 및 정밀 분석을 제공하는 등 국내 최고 수준의 연구 플랫폼에서 소재‧소자에 대한 검증, 분석, 실증이 가능한 일괄 서비스를 제공한다.

    또 중앙기기센터는 국내 최고 수준의 반도체 FAB(소자클린룸)을 보유하고 있으며, 주요 인프라는 실리콘계 반도체 공정, MEMS, 통신소자, 센서, 마이크로가공, 계측시뮬레이션 및 나노·바이오분석을 위한 공용장비 등 총 170여 대가 구축돼 있다.
     
    DGIST 중앙기기센터는 현재 반도체 미세박막용 전구체 제조기업에 TEM(투과전자현미경)을 활용한 극미세 나노분석기술을 제공해 대기업 및 해외기업에 납품하기 위한 유효성 테스트를 진행하고 있다.

    이밖에 반도체 블랭크 마스크(Blank Mask) 소재제작 유망기업에 대해서는 최신의 구조‧성분‧분광 분석을 제공하고 있으며, 일본수출규제로 이슈가 된 포토레지스트 포토레지스트 개발 기업에는 테스트 베드를 제공함으로써 제품의 국산화를 돕고 있다.

    한편, DGIST는 중앙기기센터 활용과 함께 기술자문단을 구성해 소재·부품·장비 독자기술 개발을 적극 지원할 예정이다. 기술자문단은 총 5개 분과로 구성되는데, 기술분과 4개(소재분과, 로봇·자동차·장비분과, ICT분과, 생명·바이오분과)와 분석·실증분과 1개로 운영된다. 자문위원으로는 DGIST 소속 182명의 교수·연구원·기술원이 참여한다.

    DGIST 국양 총장은 “일본수출규제로 어려움을 겪고 있는 지역 및 국내기업에 큰 힘을 보태고자 자문단 뿐만 아니라 연구용 실증 센터를 추진하게 됐다”며 “DGIST의 우수한 연구 인프라시설 활용과 특화연구분야 자문을 통해 이번 난국을 타개할 수 있도록 최선을 다해 우리 기업들을 돕겠다”고 밝혔다.